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■ゲーデ型真空ポンプで、真空ポンプ油により回転部の潤滑と真空封止をしていますので、高真空が安定して得られます。

■モーター直結型であることからベルト方式に比べ、高速回転により小型で大きな排気速度が得られます。

■2段式は2回の吸入圧縮排気により1段式より良い真空が得られます。

【用途】
・理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。
・真空排気装置、電子顕微鏡のバック。
・半導体製造装置。
・真空蒸着装置、凍結乾燥器。
・医療用機器全般。

【仕様】
排気速度(L/min)50/60Hz:5/6、到達圧力(Pa):6.7、吸気口径(mm):12、電源(V):単相100、寸法(mm):130×203×159.5、騒音値(dB):-、吸気管径(mm):O.D.φ12×I.D.φ6、質量(kg):5
サーマルプロテクタ付、排気速度50/60Hz(L/min):5/6、吸気管径(mm):O.D.φ12×I.D.φ6、最大寸法(mm):130(W)×203(L)×159.5(H)

【注意】
・油の汚れ、減少を定期的にチェックしてください。
・停止時には真空側に油の逆流が発生します。必ずポンプ内を大気圧に戻してください。
・大気圧近くでの連続運転には不適当です。

【原産国】
日本

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